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差分式电涡流传感器SCE-2200 可选单通道、双通道模拟量输出、数字量输出 应用领域： *快速转向镜（FSM） *望远镜和显微镜图像稳定 *光电扫描仪图像稳定 * 角位移指示 *精密定位平台(XY定位平台位置反馈) *生命科学(细胞操控、原子显微镜)
应用领域：
v 快速转向镜（FSM）
v 望远镜和显微镜图像稳定
v 光电扫描仪图像稳定
v 角位移指示
v 精密定位平台(XY定位平台位置反馈)
v 生命科学(细胞操控、原子显微镜)
规格性能参数
参数 | 值 | 单位 | 注释 | ||
量程 | ±0.25, ±0.50, ±0.90 | mm | |||
零位间隙 | 0.4, 0.65, 1.0 | mm | |||
输出电压 | ±10 | V | |||
灵敏度 | 20 | mV/μm | 典型值 | ||
非线性度 | <0.5 | %FSO | |||
分辨率 (p-p@1kHz带宽) | 零点 | <0.004 | %FSO | ||
全量程 | <0.015 | %FSO | |||
温漂 | 零点 | <0.005 | %FSO/°C | ||
全量程 | <0.02 | %FSO/°C | |||
功耗 | <1 | W | 双通道 | ||
频率响应 | 20 | kHz | 默认 | ||
输入电压 | ±15 | Volts | @53mA | ||
输出阻抗 | <1 | Ohm | |||
支持真空应用 | 10e-3 | Pa | |||
重量 | 传感器 | 227 | g | 4个探头加上线 | |
信号控制器 | 170 | g | |||
工作 温度 | 信号控制器 | -40°C至+80°C | |||
传感器 | -40°C至+80°C | ||||
存储 温度 | 信号控制器 | -55°C至+80°C | |||
传感器 | -55°C至+80°C | ||||
FSO=Full scale output=2倍量程 | |||||
传感器探头
标准版本传感器探头S05，默认线长1.5m，带直出的MCX接头，通常有现货。
可选版本S0515, S0518, S0523L, S0514P，默认线长0.5m，可根据客户要求进行定制。
接头默认为MCX直出，可选MCX 90度弯头，亦可定制其他接头，比如SMA连接器。
信号控制器
图5， 控制器SCE-2200
l 其他可选控制器如下表
订购示例：
SCE-2200 - S05x2-2500 L | ||
1 | 2 3 | 4 5 |
1 控制器型号，标准版SCE-2200；可选定制版如SCE-2201,SCE-2209，SCE-2206；
2 探头型号，标准版S05; 可选S0515，S0518，S0523L, S0514P;
3 探头数量，2表示2个探头，即单通道；4表示4探头，即双通道；
4 探头电缆长度，探头S05默认电缆长度1500mm,探头S0515，S0523L,S0510P,S0514P默认电缆长度500mm，不填表示默认电缆长度；其它长度需标明，如2500表示探头电缆长度2500mm。
5 接头形式，H或不填，默认直出连接器；L表示90度弯头连接器；
附录标定结果示例，如下表所示，供参考。
标定结果 | ||||
序号 | X通道位移(um) | X通道电压(V) | 最小二乘法拟合(V) | 非线性%FSO |
1 | -500.0 | -10.0035 | -9.841 | -0.81% |
2 | -400.0 | -7.7378 | -7.858 | 0.60% |
3 | -300.0 | -5.6964 | -5.875 | 0.89% |
4 | -200.0 | -3.8462 | -3.892 | 0.23% |
5 | -100.0 | -2.0022 | -1.909 | -0.47% |
6 | 0 | -0.0135 | 0.075 | -0.44% |
7 | 100.0 | 2.0588 | 2.058 | 0.00% |
8 | 200.0 | 4.0451 | 4.041 | 0.02% |
9 | 300.0 | 5.9598 | 6.024 | -0.32% |
10 | 400.0 | 7.9175 | 8.008 | -0.45% |
11 | 500.0 | 10.1405 | 9.991 | 0.75% |
量程： | ±0.5 mm | |||
灵敏度： | 19.83 mV/um | |||
零位间隙： | 0.65 mm | |||
供电电压： | ±15 V | |||
被测目标： | 铝合金 6061 | |||
测量仪器： | Keysight 34465A Mitutoyo MDH-25MB | |||
