• 闭环分辨率优于 1nm • 最大负载 3.5 kg • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案 • 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
特点：
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5 kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
亚纳米转镜压电偏转台命名规则
亚纳米转镜压电偏转台选型表
型号 | Mirrors.TxTy0303 | Mirrors.TxTy1010 | Mirrors.Z12TxTy0101 |
运动方向 | TX,TY | Z，Tx & Ty 向 | |
底面尺寸×高度（mm） | 详见工程图 | ||
主体材料 | 铝合金 & 不锈钢 | ||
运动行程 | θX, 3 mrad θy, 3 mrad | Θx,10mrad Θy,10mrad |
12 um / 1 mrad / 1mrad |
运动分辨率 (开环) | 0.05urad（开环） | 0.2urad（开环） | Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad |
运动分辨率 (闭环) | 0.1urad（闭环） | 0.5urad（闭环） | Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad； Ty：0.1 urad |
线性误差 | <0.1% | 0.2% | |
共振频率 (空载) | 2 kHz | 1 kHz | 5.5 kHz |
摇摆半径 | 5.5mm | / | |
闭环传感器（闭环版本） | SGS | 电阻式 | |
驱动电压 | Max.150V | ||
推荐使用温度 | -20~80℃ | ||
搭配控制器 | Archimedes.3S控制器 | ||
镜片重量 | 30g | 30g | / |
尺寸图
