特点： • X方向扫描运动15um,3 um • 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm • 闭环分辨率优于0.1nm • 电容位置传感 • 高速运动响应 • 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 选件升级
特点：
• X方向扫描运动15um,3 um
• 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 闭环分辨率优于0.1nm
• 电容位置传感
• 高速运动响应
• 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 选件升级
亚纳米高动态压电扫描台选型表
型号 | SD15.x.C | SD30.x.C |
运动方向 | X方向 | |
底面尺寸×高度（mm） | 62×40×13.5 | 80×40×13.5 |
主体材料 | 铝合金 | |
自重（g） | 250 | 350 |
运动行程（um） | 15（闭环） | 30 （闭环） |
运动分辨率（nm） | 0.1 | 0.2 |
运动可重复精度（nm） | 2 | 4 |
线性误差 | 优于 0.035% | |
摇摆（urad） | 2 | |
俯仰（urad） | 2 | |
共振频率（kHz） | 3.3 | 2.2 |
共振频率 (300g）（kHz） | 1 | 0.625 |
刚性（N/um） | 28 | 18 |
闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | |
推荐使用温度 | -20 ~ 80 °C | |
亚纳米高动态压电扫描台尺寸图
