特点： • 最快稳定时间(90% 位置稳定) 15ms 以内 • 闭环分辨率优于 1nm • 最大负载 500 g • 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series • 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列特点：
• 最快稳定时间(90% 位置稳定) 15ms 以内
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 500 g
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列命名规则
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列选型表
型号 | Carrier.OB.050.C | Carrier.OB100.C | Carrier.OBHL100.C |
外形尺寸 | 详见各型号尺寸图 | ||
材质 | 不锈钢/铝合金 | ||
自重（g） | 270 | 270 | 500 |
运动方向 | Z 轴 | ||
行程（um） | 50 | 100 | 100 |
线性度 | 0.02% | 0.03% | 0.02% |
内置传感器 | 电容式传感 | ||
传感器噪声（nm） | 1 | ||
Z方向分辨率，开环（nm） | 0.2 | ||
稳定时间 (90%位置到达)（ms） | 10 | 15 | 10 |
共振频率（无负载）（Hz） | 600 | 500 | 900 |
共振频率（150 g 负载）（Hz） | 300 | 250 | 500 |
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列尺寸图
