六轴压电并联系统
六轴压电并联系统
压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列选型表
型号 | Free6D.3-2.150 |
外形尺寸（mm） | Ø150×112 mm |
主体材料 | 不锈钢/铝合金 |
运动参数 | |
行程 X, Y, Z | ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm |
行程 ΘX, ΘY , ΘZ | ± 10 °, ± 10 °, ± 20 ° |
单向重复定位精度 X, Y, Z | ± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um |
单向重复定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ | ± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad |
最小位移 X, Y, Z | 0.1 um, 0.1 um, 0.1 um |
最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ | 5 urad, 5 urad, 5 urad |
位置传感参数 | |
集成传感器 | 光学编码器 |
位置传感分辨率 | - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
控制器信息 | |
工作电压 | 220 V |
控制器通道 | 6通道输出控制 |
通讯接口 | USB，232，网口通讯 |
控制软件 | 提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制 |
压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列尺寸图
