• 超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选 • 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台特点：
• 超安静运动，20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台选型表
型号 | LS35z.Lab .O / .R | LS65z.Lab.O / .R. |
底面尺寸×高度（mm） | 35×35×33 | 65×65×42.5 |
主体材质 | 默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版） | |
自重（g） | 102g（.R）200g(.O) | 300g(O) |
运动行程（mm） | 10 | |
最大速度（mm/s） | -10 | |
最小步伐（nm） | ~10 | |
重复定位精度 | | |
驱动频率 | Max. 20 kHz （超安静运动） | |
最大负载（g） | 500 | |
全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°） | |
位置传感类型 | -电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ） | |
位置传感量程（mm） | 10 | |
位置传感分辨率 | - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 | |
尺寸图
