电涡流传感器基于电磁感应原理工作。当导电金属目标靠近传感器探头时，高频激励线圈产生的交变磁场在目标表面感应出电涡流。这一电涡流又会产生与原磁场方向相反的磁场，导致线圈阻抗发生变化。通过检测这一阻抗变化，传感器即可计算出探头与目标之间的距离。
电涡流传感器的主要优势在于对测量目标材质有较高宽容度，尤其擅长对铁磁材料和导电金属的测量，且对油污、灰尘、水雾等恶劣环境具有较强的适应能力。电涡流传感器可实现较大的测量量程，能够满足从数百微米到数毫米级别的测量需求。
电容传感器利用的是两个电极之间电容值随间距变化的物理规律。当一个电极（传感器探头）与另一个电极（测量目标）之间的间距发生微小变化时，两者之间的电容值会产生相应改变。通过精密的电容检测电路，即可实现纳米级甚至亚纳米级的位移分辨率。
电容传感器的优势在于极高的测量精度与稳定性。其测量精度不受电磁干扰影响，在真空环境和低温环境中表现突出。电容传感器对测量环境的要求更为严格，需要保持探头与目标之间的清洁与干燥，且量程通常相对有限。
在电涡流传感器与电容传感器之间做出选择时，建议从以下四个关键维度进行评估：
| 考量维度 | 电涡流传感器 | 电容传感器 |
|---|
| 测量精度 | 微米级至亚微米级 | 纳米级至亚纳米级 |
| 量程范围 | ±0.25mm至±10mm以上 | 通常在±0.5mm以内 |
| 环境适应性 | 耐油污、灰尘，可真空使用 | 需清洁干燥环境 |
| 目标材质 | 需导电材料 | 可测量任意材质 |
SCE-2200是
复静科技推出的差分式电涡流传感器，定位为高性能通用测量平台。该产品提供单通道和双通道两种配置，支持模拟量输出（±10V）和数字量输出双重模式，可灵活对接各类控制系统。
在主要性能指标上，SCE-2200的量程覆盖±0.25mm、±0.50mm、±0.90mm三档，对应零位间隙分别为0.4mm、0.65mm、1.0mm。其灵敏度典型值为20mV/μm，能够输出±10V的标准工业信号。非线性度控制在0.5%FSO以内，分辨率在1kHz带宽下可达零点0.004%FSO（峰峰值），全量程下也仅为0.015%FSO。温度漂移方面，零点温漂优于0.005%FSO/°C，全量程温漂小于0.02%FSO/°C，确保了宽温度范围内的测量稳定性。
该产品支持10⁻³Pa级真空应用，工作温度范围覆盖-40°C至+80°C，功耗小于1W（双通道），输入电压为±15V @53mA。SCE-2200整机重量仅170g（控制器）+227g（4探头加线），结构紧凑便于集成。该型号广泛应用于快速倾斜镜（FSM）、望远镜与显微镜图像稳定、光电扫描仪、精密定位平台及生命科学领域。
SCE-2224是复静科技面向高速应用场景推出的双通道电涡流传感器，集成模拟量与数字量双输出接口。其内置两片24位ADC，采样率高达128kSPS，配合数字信号直接输出至客户FPGA的架构设计，可实现高速信号线性化与温度补偿算法。
该产品的一大特色是支持内置电压表功能，用户可直接通过电压表验证零点和偏移状态，简化调试流程。在快速反射镜控制、图像稳定系统、激光通讯等对动态响应要求较高的应用中，SCE-2224的高速数据采集与实时处理能力可发挥作用。
SCE-2206同样采用双通道数字量输出设计，内置16位ADC，采样频率达1MSPS。该产品通过SPI接口与MCU进行通讯，集成便捷且成本可控，适合对成本敏感但仍需数字化测量能力的应用场景。
SCE-2206在快速反射镜、图像稳定成像仪、主轴振动监测等应用中具有性价比优势，可有效平衡测量性能与系统成本。
SCE-201是复静科技产品线中的紧凑型代表，采用单探头单通道设计，输出模拟量信号，带宽可根据应用需求进行选择。该产品身形小巧、结构简洁，适用于FSM、图像稳定、精密定位及生命科学等对空间有严格限制的集成场景。
对于追求纳米级测量精度的应用，C900是复静科技给出的电容式解决方案。该产品基于电容原理实现非接触式位移测量，具备高精度、纳米级分辨率、快速响应和低噪声等特性。
C900在测量精度、稳定性和重复性方面表现良好，尤其适用于旋转主轴与轴、磁盘、轮胎、晶圆等精密部件的关键尺寸测量与形位误差检测。在需要排除电磁干扰、在洁净环境或真空条件下工作的半导体制造与精密光学加工领域，电容传感器的精度优势较为显著。
针对不同应用场景，建议遵循以下选型原则：
优先选择电涡流传感器的场景：测量对象为导电金属或铁磁材料；需要在油污、冷却液或粉尘环境中工作；量程需求在数百微米至数毫米；需要支持真空应用；系统预算有限但仍需可靠测量。
优先选择电容传感器的场景：追求纳米级或亚纳米级测量精度；测量对象为任意材质（包括非导电材料）；工作环境洁净且湿度可控；测量对象尺寸较小且表面光洁；系统集成中需排除电磁干扰。
复静科技技术选型建议：对于通用工业测量与FSM应用，SCE-2200以全面的性能指标和灵活的通道配置成为可选方案；对于高速动态测量需求，SCE-2224凭借128kSPS采样率和数字输出能力是合适方案；对于成本敏感型应用，SCE-2206提供了数字测量能力与性价比的平衡；对于纳米级精度需求，C900电容位移传感器是适合的选择。
如您在传感器选型过程中需要进一步的技术咨询或产品方案评估，复静科技（FUJING）可提供专业的技术支持与定制化解决方案。欢迎通过官网
www.fjingtech.com与我们联系，我们的工程师团队将根据您的具体应用需求提供一对一的技术选型指导，帮助您找到适合的精密测量解决方案。
